細分真空設備發展有了很大的發展和長足的進步

目前"真空科學與技術"包括了諸多的學科分支，真空科學與技術的分支學科分支學科分支學科的內容經典真空技術真空獲得，測量，檢漏，真空系統及元件。電子材料和加工工藝真空電子器件，半導體材料，光電材料，敏感材料，薄膜電子材料，薄膜材料，智能材料，沉積加工工藝，外延生長技術，掩膜和刻蝕等。表面科學固體表面電子結構，原子結構的研究，超高真空掃描隧道顯微鏡，表面性能測試。

真空冶金真空熔煉鑄造，真空脫氣鑄造，真空熱處理，真空焊接，真空還原蒸留炭化，單晶體制備，表面處理。等離子體科學與技術等離子體在磁控濺射，離子鍍等設備的應用。等離子體化學氣相沉積，高純度單晶薄膜制備，等離子體顯示器件。薄膜科學與技術真空蒸發鍍，真空濺射鍍，真空離子鍍，化學氣相沉積。應用表面科學紫外光電子能譜分析離子中和譜、X光電子能譜等表面分析儀器。納米科學與技術納米材料的制備，納米生物學，納米機械與納米動力學，納米電子學，納米醫療。

其實早在公元前六世紀我國在冶鐵技術中即采用了"風箱鼓風法"，這是利用真空進行吸氣原理有記載的描述。通常在回顧真空科學發展史時，常常誤認為1643年托里析利的壓力實驗和1650年葛利克發明抽氣機是對真空這一現象的98%早發現。

公元218~316年我國晉朝醫生葛洪又創造了"拔火罐"醫療法。這是真空技術在醫學上應用的具體例證。可見葛利克抽氣機的發明與我國的風箱鼓風抽氣相比較，在時間上至少要晚幾百年。除了作為獲得，檢測，真空系統及其元件等產品的自身發展借以配合許多科學創新的條件和手段外，由于現代科學技術的相互交叉與滲透，因此又極大的豐富了真空科學與技術的內涵。

尤其是"超高真空"，"超清潔表面"的出現，揭示了自然界中許多新穎的現象和規律，其中納米技術的發展就是很好的例證。這時由于電子器件，原子能，航天技術對真空環境的需求，極為迫切，從而大大的推動了這一技術的發展。因此在我們回顧真空科學發展的歷程時，是不應忘記我們的祖先，對人類在早期發展真空技術中所做出的貢獻。但是，真空科學與技術作為獨立的科學體系還是從20世紀初開始的。

中國機械行業自改革開放的30多年來有了很大的發展和長足的進步，這不僅反映在產值、產量上的大幅度增長，而且在品種、規格還是在綜合技術水平上都取得了可觀的成績。尤其是三個九五計劃以來，行業各企業抓住機遇，調整產品結構，大力推進技術創新，取得了許多大行業級以及*的新產品、新技術成果，為我國的國民經濟建設，科學技術的發展，國防高新技術的提升做出了貢獻。